Suharyadi H. Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. migaszoom [Internet]. 2019Jun.18 [cited 2024May19];1(1):61-72. Available from: http://ejurnal.ppsdmmigas.esdm.go.id/sp/index.php/migaszoom/article/view/229