Suharyadi, Hafid. “Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik”. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom 1, no. 1 (June 18, 2019): 61–72. Accessed July 6, 2024. http://ejurnal.ppsdmmigas.esdm.go.id/sp/index.php/migaszoom/article/view/229.