Suharyadi, H. . “Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik”. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, vol. 1, no. 1, June 2019, pp. 61-72, doi:10.37525/mz/2019-1/229.