Suharyadi, H. . (2019) “Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik”, Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, 1(1), pp. 61–72. doi: 10.37525/mz/2019-1/229.