SUHARYADI, H. . Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, [S. l.], v. 1, n. 1, p. 61–72, 2019. DOI: 10.37525/mz/2019-1/229. Disponível em: http://ejurnal.ppsdmmigas.esdm.go.id/sp/index.php/migaszoom/article/view/229. Acesso em: 19 may. 2024.