Suharyadi, H. . (2019). Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, 1(1), 61–72. https://doi.org/10.37525/mz/2019-1/229