Suharyadi, H. 2019. Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom. 1, 1 (Jun. 2019), 61–72. DOI:https://doi.org/10.37525/mz/2019-1/229.